Stichwort zu MEMS

Ein Mikrosystem ist ein miniaturisiertes Gerät, eine Baugruppe oder ein Bauteil, dessen Komponenten kleinste Abmessungen haben und als System zusammenwirken.
Üblicherweise besteht ein Mikrosystem aus einem oder mehreren Sensoren, Aktoren und einer Steuerungselektronik auf einem Substrat bzw. Chip. Dabei bewegt sich die Größe der einzelnen Komponenten im Bereich von wenigen Mikrometern. Die Abgrenzung ist dabei zu den Nanosystemen zu sehen, welche sich eine weitere Größenordnung darunter befinden.
Die Mikrosystemtechnik ist die Lehre von der Entwicklung der Mikrosysteme und von den Techniken zu deren Realisierung.

SÜSS MicroTec erhält Großauftrag für Lithographie-Projektionsscanner

Suess Microtec

SÜSS MicroTec, führender Hersteller von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, hat im dritten Quartal 2015 einen bedeutenden Auftrag von einem führenden Hersteller der Halbleiterindustrie für Lithografie-Geräte aus dem Hause SUSS MicroTec Photonic Systems erhalten. Dieser strategisch wichtige Auftrag hat ein Volumen im höheren einstelligen Millionen Euro Bereich und umfasst mehrere Projektionsscanner des Typs DSC300 Gen2, die …

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SÜSS MicroTec bringt neuen Mask Aligner MA12 auf den Markt

Garching – SÜSS MicroTec, globaler Hersteller von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, hat heute den Mask Aligner MA12 in den Markt eingeführt. Der halbautomatische Mask Aligner ist für den Einsatz in der industriellen Forschung und Produktion für Wafergrößen bis 300 mm sowie für 300×300 mm Substrate konzipiert. Die MA12 bedient die Zielmärkte Advanced Packaging, inkl. 3D Wafer-Level …

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