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SÜSS MicroTec erhält Großauftrag für Lithographie-Projektionsscanner

Suess Microtec SÜSS MicroTec, führender Hersteller von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, hat im dritten Quartal 2015 einen bedeutenden Auftrag von einem führenden Hersteller der Halbleiterindustrie für Lithografie-Geräte aus dem Hause SUSS MicroTec Photonic Systems erhalten. Dieser strategisch wichtige Auftrag hat ein Volumen im höheren einstelligen Millionen Euro Bereich und umfasst mehrere Projektionsscanner des Typs DSC300 Gen2, die in der SÜSS Produktionsstätte in Corona, USA, gefertigt werden. Die DSC300 Gen2 bietet vergleichbare Fähigkeiten in Hinblick auf Auflösung und Overlay bei gleichzeitig höherem Durchsatz und damit geringere Kosten als herkömmliche Projektionsstepper. Mit dieser erfolgreichen Produkt- und Technologiequalifizierung hat das Unternehmen seine Führungsposition im Advanced Packaging Segment ausbauen können. Die Geräte sind für die Serienfertigung im Wachstumssegment Fan-out Wafer-Level Packaging vorgesehen. Die Auslieferung und Installation wird bereits Anfang 2016 beginnen. "Die DSC300 Gen2 ist das einzige System auf dem Markt, welches die Vorteile der Vollfeldbelichtung mit denen der Projektionslithografie in einem Gerät kombiniert", erklärt Dr. Markus Arendt, General Manager SUSS MicroTec Photonic Systems. "Wir sind über die Möglichkeiten, die die DSC300 Gen2 dem Unternehmen eröffnet, sehr erfreut. Der intensive Qualifizierungsprozess mit unserem Schlüsselkunden hat demonstriert, dass die DSC300 den Anforderungen hinsichtlich Technologie und Kosten in vollem Umfang entspricht."

Über SÜSS MicroTec

SÜSS MicroTec ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen Technologien wie 3D Integration und Nanoimprint Lithographie sowie Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München.

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